为了在一个容器中获得低于大气压的压强，就必须通过真空泵将容器中一定质量的空气排出。例如，如需达到 50-kPa 的真空度，就要排出容器中一半的空气。

真空流量代表单位时间内真空泵排出的空气量，用于衡量真空泵的排气速度。许多机械式真空泵制造商将真空流量等同于排气体积，这种情况下真空流量又被成为“排气流量”或“体积流量”。排气流量等于真空腔体积乘以单位时间

内转数 ( 即转速 )。在机械式真空泵中，排气流量是恒定的，极有可能导致误解，认为排气过程中真空流量保持恒定。排气过程中，随着气缸运动空气会变得越来越稀薄直至达到所需真空度。达到所需真空度后，真空流量即降低到零 : 真空泵继续排出相同体积的空气，但是排出空气与标准大气压下空气相比过于稀薄，几乎相当于无空气排出。

考虑到排气过程中空气质量的变化，最终采用标准升每分 (NI/min) 来表示真空流量，也被称为自由空气流量。这种方法的优势在于实现了真空流量相对于标准大气压的标准化。随着真空度升高和空气越来越稀薄，排出每标准升空气时必须排出更高体积的空气。下表展示了真空泵排气流量 (NL/min) 和自由空气流量 (NL/min) 的关系 : 零真空度下，容器内外均处于标准大气压下，排气流量等于自由空气流量 ; 随着真空度升高，两个数值逐渐开始出现偏差 ; 50 -kPa (50%)真空度下，排气流量达到了自由空气流量的两倍一真空度越高，两个数值之间的差值越大。